Расширенный поиск
Найдены 2 записи. Для сортировки результатов нажмите на название колонки.
№ | Автор | Заглавие | Данные | Действия |
---|---|---|---|---|
1. | Ивин, Владимир Владимирович | Исследование перспективных фотолитографических процессов с суб-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Количество страниц: 146 с. 61 01-1/294-4 Электронный ресурс |
Москва, 2000 |
описание
загрузить в подборку |
2. | Ивин, Владимир Владимирович | Исследование перспективных фотолитографических процессов с СУБ-0.2 МКМ проектными нормами с помощью математического моделирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физико-технологич. ин-т РАН Количество страниц: 22 с. 9 01-1/496-6 9 01-1/497-4 Электронный ресурс |
Москва, 2000 |
описание
загрузить в подборку |