Расширенный поиск
Найдено 48 записей.
№ | Автор ▲ | Заглавие | Данные | Действия |
---|---|---|---|---|
1. | Андрианов, Андрей Михайлович | Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 177 с. ил. 61 01-5/394-9 Электронный ресурс |
Москва, 2000 |
описание
загрузить в подборку |
2. | Балашов, Владимир Николаевич | Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 299 с. 71 99-5/386-5 Электронный ресурс |
Москва, 1998 |
описание
загрузить в подборку |
3. | Балашов, Владимир Николаевич | Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электроники и математики Количество страниц: 39 с. 9 98-7/992-8 9 98-7/993-6 Электронный ресурс |
Москва, 1998 |
описание
загрузить в подборку |
4. | Батраков, Василий Борисович | Схемотехническое и функциональное проектирования вакуумной коммутационной аппаратуры : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 26 c. ил Электронный ресурс |
Москва, 1993 |
описание
загрузить в подборку |
5. | Беликов, Aндрей Иванович | Повышение вакуумных и фрикционных характеристик механизмов с твердосмазочным покрытием на основе дисульфида молибдена для вакуумного технологического оборудования : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 18 c. ил Электронный ресурс |
Москва, 1998 |
описание
загрузить в подборку |
6. | Белоусов, Вячеслав Михайлович | Разработка и исследование электроннолучевого оборудования для отжига и рекристаллизации структур интегральной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. гос. ин-т электроники и математики Количество страниц: 24 с. 9 97-3/1953-1 9 97-3/1954-X Электронный ресурс |
Москва, 1996 |
описание
загрузить в подборку |
7. | Березин, Андрей Сергеевич | Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электронной техники Количество страниц: 22 с. 9 98-5/3619-5 9 98-5/3620-9 Электронный ресурс |
Москва, 1997 |
описание
загрузить в подборку |
8. | Бондарик, Василий Михайлович | Процессы и устройства для монтажа электронной техники при комбинированном воздействии ультразвуковых и электромагнитных полей : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Белорусский гос. ун-т информатики и радиоэлектроники Количество страниц: 22 с. 9 00-2/229-9 9 00-2/230-2 Электронный ресурс |
Минск, 1999 |
описание
загрузить в подборку |
9. | Булыгина, Екатерина Вадимовна | Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / МГТУ им. Н. Э. Баумана Количество страниц: 16 с. 9 97-3/2918-9 9 97-3/2919-7 Электронный ресурс |
Москва, 1997 |
описание
загрузить в подборку |
10. | Василенко, Николай Васильевич | Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 48 с. Электронный ресурс |
Москва, 2000 |
описание
загрузить в подборку |
11. | Василенко, Николай Васильевич | Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 430 с. ил. 71 00-5/530-1 Электронный ресурс |
Красноярск, 1999 |
описание
загрузить в подборку |
12. | Васин, Владимир Анатольевич | Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 364 с. ил. 61 00-5/1183-3 Электронный ресурс |
Москва, 2000 |
описание
загрузить в подборку |
13. | Калинина, Ирина Серафимовна | Разработка средств термостабилизации воздуха в чистых производственных помещениях : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 26 c. ил Электронный ресурс |
Москва, 1993 |
описание
загрузить в подборку |
14. | Карпович, Святослав Евгеньевич | Построение прецизионных координатных систем и механизмов оборудования производства электронной техники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 42 c. ил Электронный ресурс |
Москва, 1997 |
описание
загрузить в подборку |
15. | Кеменов, Владимир Николаевич | Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 374 с. ил. 71 00-5/670-7 Электронный ресурс |
Москва, 2000 |
описание
загрузить в подборку |
16. | Кеменов, Владимир Николаевич | Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 42 с. Электронный ресурс |
Москва, 2000 |
описание
загрузить в подборку |
17. | Ковалев, Анатолий Андреевич | Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 225 с. ил. 61 01-5/252-7 Электронный ресурс |
Москва, 2000 |
описание
загрузить в подборку |
18. | Коган, Иосиф Леонидович | Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 177 с. ил. 61 00-5/780-1 Электронный ресурс |
Москва, 1999 |
описание
загрузить в подборку |
19. | Коган, Иосиф Леонидович | Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 24 с. Электронный ресурс |
Москва, 1999 |
описание
загрузить в подборку |
20. | Колтович, Валерий Александрович | Разработка ультразвуковой технологии и оборудования для изготовления прецизионных металлических лент, применяемых в электронной технике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 Количество страниц: 24 c. ил Электронный ресурс |
Минск, 1998 |
описание
загрузить в подборку |