Расширенный поиск
Найдены 2 записи.
№ | Автор | Заглавие | Данные ▲ | Действия |
---|---|---|---|---|
1. | Рычков, Дмитрий Сергеевич | Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.04 / Том. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники (ТУСУР) РАН Количество страниц: 19 с. 9 04-4/3871-4 9 04-4/3872-2 Электронный ресурс |
Томск, 2004 |
описание
загрузить в подборку |
2. | Рычков, Дмитрий Сергеевич | Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.04 Количество страниц: 148 с. ил. 61 04-5/3050 Электронный ресурс |
Томск, 2004 |
описание
загрузить в подборку |