Расширенный поиск
Найдены 2 записи. Для сортировки результатов нажмите на название колонки.
№ | Автор | Заглавие | Данные | Действия |
---|---|---|---|---|
1. | Никитин, Владислав Геннадьевич | Исследование кинетики процессов круговой лазерной записи в пленках хрома при изготовлении дифракционных оптических элементов и контроль их эффективности : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Никитин Владислав Геннадьевич; [Место защиты: Новосиб. гос. техн. ун-т] Количество страниц: 22 с. 9 07-5/1601 Электронный ресурс |
Новосибирск, 2007 |
описание
загрузить в подборку |
2. | Овчинников, Вячеслав Алексеевич | Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники] Количество страниц: 30 с. 9 10-1/1236 Электронный ресурс |
Москва, 2009 |
описание
загрузить в подборку |