Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Лазарев, Григорий Леонидович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Разработка и исследование цифрового интерференционного микроскопа для прецизионных измерений малых высот и наноперемещений : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 | |
Выходные данные | Москва 2006 | |
Физическое описание | 16 с. | |
Тема | Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы | |
Тема | Физико-математические науки -- Физика -- Оптика -- Оптические приборы. Геометрическая оптика -- Микроскопы | |
Ключевые слова |
микроинтерферометр |
|
Ключевые слова |
измерение микрорельефа поверхности |
|
Ключевые слова |
микропрофилометрия |
|
Ключевые слова |
микровиброметрия |
|
Хранение | 9 07-1/4192; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |