Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Лазарев, Григорий Леонидович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Разработка и исследование цифрового интерференционного микроскопа для прецизионных измерений малых высот и наноперемещений : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07 | |
Выходные данные | Москва 2007 | |
Физическое описание | 121 с. 21 ил. | |
Тема | Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |