Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Баранов, Александр Михайлович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Основы теории непрерывного технологического контроля параметров нанокомпозитных структур в технологии ионно-плазменных процессов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 2003 | |
Физическое описание | 34 с. | |
Тема | Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология получения -- Нанесение пленочных покрытий -- Технический контроль -- Рентгеновские методы контроля | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Ключевые слова |
ионно-плазменные процессы получения пленок сверхтонкие пленки |
|
Хранение | 9 03-7/1689-4; | |
Хранение | 9 03-7/1690-8; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |