Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Мурин, Дмитрий Борисович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Электрофизические параметры и состав плазмы в смесях HCl с инертными (Ar, He) и молекулярными (H2, Cl2, O2) газами : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04 | |
Выходные данные | Иваново 2016 | |
Физическое описание | 16 с. | |
Тема | Физическая химия | |
Тема | Химические науки -- Физическая химия. Химическая физика -- Химическая кинетика -- Реакции, протекающие в специальных условиях -- Реакции в электрических разрядах -- Плазмохимические реакции | |
Тема | Физико-математические науки -- Физика -- Электричество и магнетизм -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы -- Свойства плазмы -- Равновесные и неравновесные явления | |
Тема | Радиоэлектроника -- Микроэлектроника -- Технология изготовления -- Лазерная обработка деталей. Плазменное травление -- Теория, исследования | |
Ключевые слова |
плазменное травление |
|
Ключевые слова |
плазма хлора |
|
Хранение | 9 16-2/63; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |