Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Токнова, Валентина Федоровна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Структура и свойства бинарных и многокомпонентных покрытий на основе оксида титана и оксида гафния, формируемых атомно-слоевым осаждением из алкоксидов титана и этилметиламида гафния : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.21 | |
Выходные данные | Долгопрудный 2013 | |
Физическое описание | 18 с. | |
Тема | Химия твердого тела | |
Тема | Химические науки -- Общая и неорганическая химия -- Химические элементы и их соединения -- Четвёртая группа периодической системы -- Подгруппа титана -- Соединения с кислородом -- Сложные оксиды | |
Тема | Химические науки -- Физическая химия. Химическая физика -- Физическая химия поверхностных явлений -- Сорбция. Десорбция -- Хемосорбция | |
Ключевые слова |
тонкие плёнки оксида титана |
|
Ключевые слова |
тонкие многокомпонентные диэлектрики |
|
Ключевые слова |
атомно-слоевое осаждение тонких плёнок |
|
Хранение | 9 13-3/615; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |