Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Дунаев, Александр Валерьевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04 | |
Выходные данные | Иваново 2011 | |
Физическое описание | 16 с. | |
Тема | Физическая химия | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Полупроводниковые материалы -- Алмазоподобные полупроводники -- Кремний -- Технология производства | |
Хранение | 9 11-2/2913; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |