Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Чистоедова, Инна Анатольевна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.11 | |
Выходные данные | Томск 2005 | |
Физическое описание | 178 с. ил. | |
Тема | Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Силикатные производства -- Керамические изделия -- Специальная керамика. Изделия из специальных керамических масс -- Отделка керамических изделий | |
Тема | Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы | |
Тема | Технология силикатных и тугоплавких неметаллических материалов | |
Ключевые слова |
технология получения тонких пленок свойства тонких пленок |
|
Хранение | 61 05-5/2319; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |