Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Афонин, Николай Николаевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Перераспределение легирующих примесей при термическом оксидировании монокристаллического кремния : диссертация ... доктора химических наук : 02.00.21 | |
Выходные данные | Воронеж 2004 | |
Физическое описание | 335 с. ил. | |
Тема | Химия твердого тела | |
Хранение | 71 05-2/60; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |