Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Поляков, Вадим Витальевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Таганрог 1995 | |
Физическое описание | 135 с. ил. | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Ключевые слова |
радиационный |
|
Хранение | 61 96-5/918-1; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |