Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Суровцев, Игорь Степанович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Высокочастотная индукционная и плазменная обработка кремния и гетероструктур : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Воронеж 1998 | |
Физическое описание | 82 c. ил | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |