Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Ивин, Владимир Владимирович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Исследование перспективных фотолитографических процессов с суб-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 2000 | |
Физическое описание | 146 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Хранение | 61 01-1/294-4; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |