Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Воротилов, Константин Анатольевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Формирование диэлектрических слоев интегральных схем методами химического осаждения : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 2000 | |
Физическое описание | 45 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Хранение | 9 00-6/1309-4; | |
Хранение | 9 00-6/1310-8; | |
Хранение | 9 00-6/3648-5; | |
Хранение | 9 00-6/3649-3; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |