Виртуальная клавиатура
Простой поиск
Закрыть
Поиск
Результаты
ЭБ РГБ
– Электронная библиотека диссертаций
[
info
]
Запись №18
<<
|
>>
Описание /
Карточка
/
Поля MARC
Действия
Автор
Абрикосов, Алексей Алексеевич
загрузить
в подборку
Заглавие
Электростатические методы исследования динамики ЭУФ-индуцированной плазмы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08
Выходные данные
Москва 2017
Физическое описание
17 с.
Тема
Физика плазмы
Тема
Физико-математические науки --
Физика -- Электричество и магнетизм -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы
-- Теория плазмы. Свойства плазмы -- Гидродинамика плазмы -- Методы исследования
Тема
Техника. Технические науки -- Энергетика. Радиоэлектроника -- Радиоэлектроника -- Общая радиотехника -- Радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура) -- Микрорадиоэлектронная аппаратура. Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Технология производства -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Оборудование и аппаратура для технического контроля
Ключевые слова
литография в экстремальном ультрафиолете (ЭУФ-литография)
Хранение
9 18-1/226;
Электронный адрес
Электронный ресурс
<<
|
>>