Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Балашов, Владимир Николаевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.07 | |
Выходные данные | Москва 1998 | |
Физическое описание | 299 с. | |
Тема | Оборудование производства электронной техники | |
Хранение | 71 99-5/386-5; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |