Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Марголин, Владимир Игоревич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Санкт-Петербург 1998 | |
Физическое описание | 29 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Хранение | 9 98-5/3327-7; | |
Хранение | 9 98-5/3328-5; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |