Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Злотникова, Ирина Яковлевна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Теоретическое и экстремальное исследование процесса термического окисления кремниевых структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Воронеж 1995 | |
Физическое описание | 18 c. ил | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |