Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Лукичев, Владимир Федорович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Теоретическое исследование глубокого анизотропного травления кремниевых структур в низкотемпературной плазме : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 1997 | |
Физическое описание | 25 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Хранение | 9 98-2/2388-X; | |
Хранение | 9 98-2/2389-8; | |
Хранение | 9 98-5/2855-9; | |
Хранение | 9 98-5/2856-7; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |