Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Щербакова, Елена Николаевна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Минск 2000 | |
Физическое описание | 22 c. ил | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |