Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Филатова, Маргарита Сергеевна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 1996 | |
Физическое описание | 23 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Хранение | 9 98-1/109-1; | |
Хранение | 9 98-1/110-5; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |