Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Новоселов, Константин Петрович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 2000 | |
Физическое описание | 101 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Хранение | 61 01-1/293-6; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |