Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Злотникова, Ирина Яковлевна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Теоретическое и экспериментальное исследование процесса термического окисления кремниевых структур : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | 1995 | |
Физическое описание | 15 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Хранение | 9 95-3/3411-x; | |
Хранение | 9 95-3/3412-8; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |