Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 1997 | |
Физическое описание | 279 с. ил. | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Хранение | 71 97-5/753-9; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |