Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Нисков, Валерий Яковлевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Разработка конструктивно-технологических методов создания высококачественных изделий кремниевой микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Воронеж 1998 | |
Физическое описание | 36 c. ил | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |