Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Борило, Людмила Павловна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Синтез и физико-химические закономерности формирования золь-гель методом тонкопленочных и дисперсных наноматериалов оксидных систем элементов III - V групп : автореферат дис. ... доктора химических наук : 02.00.04, 02.00.01 | |
Выходные данные | Томск 2003 | |
Физическое описание | 44 с. | |
Тема | Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория, исследования | |
Тема | Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория, исследования | |
Тема | Физическая химия | |
Тема | Неорганическая химия | |
Ключевые слова |
получение тонких пленок - золь-гель метод |
|
Хранение | 9 03-11/1377-8; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |