Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Юрасов, Дмитрий Владимирович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Особенности образования наноостровков в многослойных SiGe гетероструктурах и метод селективного легирования SiGe структур сегрегирующими примесями : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Нижний Новгород 2012 | |
Физическое описание | 22 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводники -- Соединения типа A3B5 -- Получение -- Теория. Исследование | |
Ключевые слова |
многослойные гетероструктуры SiGe |
|
Хранение | 9 12-5/2228; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |