Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Новиков, Александр Александрович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 | |
Выходные данные | Санкт-Петербург 2008 | |
Физическое описание | 27 с. | |
Тема | Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы | |
Тема | Радиоэлектроника -- Квантовая электроника -- Квантовые приборы -- Технология изготовления -- Нанесение покрытий -- Технический контроль -- Спектральные методы контроля | |
Ключевые слова |
эллипсометрия поверхностных слоев |
|
Хранение | 9 08-4/454; | |
Хранение | 9 08-4/1934; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |