Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Дворкин, Владимир Владимирович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Исследование физических процессов, определяющих возможность масштабирования реакторов газофазного осаждения с активацией СВЧ разрядом при средних давлениях : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 | |
Выходные данные | Москва 2004 | |
Физическое описание | 133 с. ил. | |
Тема | Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Углерод и его соединения -- Теоретические основы. Исследования | |
Тема | Физика плазмы | |
Хранение | 61 05-1/86; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |