Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Шевченко, Евгений Федорович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Плазменные источники химически активных ионов на основе разряда с полым катодом для обработки функциональных слоев микроплат : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.13 | |
Выходные данные | Екатеринбург 2012 | |
Физическое описание | 22 с. | |
Тема | Электрофизика, электрофизические установки | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий | |
Хранение | 9 12-5/627; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |