Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Рычков, Дмитрий Сергеевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.04 | |
Выходные данные | Томск 2004 | |
Физическое описание | 148 с. ил. | |
Тема | Магнетроны -- Теория, исследования -- Моделирование | |
Тема | Физическая электроника | |
Ключевые слова |
магнетронные диоды - плоскопараллельные электроды магнетронная плазма |
|
Хранение | 61 04-5/3050; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |