Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Сарач, Ольга Борисовна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Создание газовых сенсоров на основе тонких пленок диоксида олова : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.10 | |
Выходные данные | Москва 2003 | |
Физическое описание | 20 с. | |
Тема | Определение компонентов газовых смесей -- Приборы для определения -- Проектирование | |
Тема | Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Исследования | |
Тема | Физика полупроводников | |
Ключевые слова |
газовые сенсоры |
|
Ключевые слова |
пленки оксидов олова |
|
Хранение | 9 03-8/3790-X; | |
Хранение | 9 03-8/3791-8; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |