Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Цырулев, Андрей Анатольевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Неравновесные фазовые переходы, индуцированные ионной бомбардировкой, на примерер силикатных систем : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Ярославль 2006 | |
Физическое описание | 19 с. | |
Тема | Химические науки -- Физическая химия. Химическая физика -- Физико-химический анализ Н.С. Курнакова -- Неорганические системы -- Неметаллические системы -- Системы из неметаллов -- Математическое моделирование | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Технология изготовления неметаллических деталей -- Теория. Исследование | |
Ключевые слова |
системы Si-O-B |
|
Ключевые слова |
системы Si-O-P |
|
Ключевые слова |
диэлектрические слои интегральных схем |
|
Хранение | 9 07-1/831; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |