Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Шишкина, Наталья Александровна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Методы контроля содержания паров воды в подкорпусном объеме интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Воронеж 2007 | |
Физическое описание | 15 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Интегральные схемы большие и сверхбольшие -- Материалы -- Физические свойства -- Влажность -- Неразрушающие методы исследований | |
Ключевые слова |
измерение влажности в корпусе СБИС |
|
Хранение | 9 07-5/1625; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |