Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Кагадей, Валерий Алексеевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Явления на поверхности и в приповерхностных слоях полупроводниковых материалов при воздействии пучков электронов и атомов водорода : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.04, 01.04.10 | |
Выходные данные | Томск 2004 | |
Физическое описание | 83 с. | |
Тема | Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводники -- Влияние облучения -- Методы исследований | |
Тема | Электроника. Электронные приборы -- Технология производства -- Электронная обработка -- Методы исследований | |
Тема | Физическая электроника | |
Тема | Физика полупроводников | |
Ключевые слова |
гидрогенезация полупроводниковых материалов в водороде электронно-лучевой отжиг кремния в вакууме |
|
Электронный адрес |
Электронный ресурс |