Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Коломийцев, Алексей Сергеевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Таганрог 2011 | |
Физическое описание | 23 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Технология производства -- Обработка электронная, лазерная, травление | |
Хранение | 9 11-3/1888; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |