Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Князев, Максим Александрович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Черноголовка 2007 | |
Физическое описание | 18 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Технология производства -- Технология печатных схем микроэлектроники. Литография -- Резисты | |
Ключевые слова |
электронная литография |
|
Ключевые слова |
электронные резисты |
|
Хранение | 9 08-1/508; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |