Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Кирюшина, Ирина Васильевна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 2003 | |
Физическое описание | 196 с. ил | |
Тема | Микроэлектроника -- Интегральные схемы большие и сверхбольшие -- Технология производства -- Обработка деталей из электроизолирующих материалов -- Выбор технологического варианта | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Хранение | 61 04-5/790-X; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |