Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Смирнов, Валерий Константинович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 1995 | |
Физическое описание | 35 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Хранение | 9 95-4/1373-7; | |
Хранение | 9 95-4/1374-5; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |