Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Кузькин, Владимир Иванович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Формирование электронных нанообъектов на основе модифицированных углеродных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 2005 | |
Физическое описание | 20 с. | |
Тема | Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология получения -- Нанесение покрытий -- Проектирование технологического процесса | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Ключевые слова |
алмазоподобные тонкие пленки |
|
Хранение | 9 05-2/1245-X; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |