Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Родионов, Илья Анатольевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14 | |
Выходные данные | Москва 2010 | |
Физическое описание | 17 с. | |
Тема | Технология приборостроения | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Интегральные схемы большие и сверхбольшие -- Технология производства | |
Ключевые слова |
литография СБИС |
|
Хранение | 9 10-6/874; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |