Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Горобчук, Алексей Геннадьевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Численное моделирование плазмохимических реакторов травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.13.18 | |
Выходные данные | Новосибирск 2003 | |
Физическое описание | 222 с. ил | |
Тема | Интегральные схемы -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Травление -- Оборудование | |
Тема | Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ | |
Хранение | 61 03-1/1207-4; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |