Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Арсенин, Алексей Владимирович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 | |
Выходные данные | Долгопрудный 2005 | |
Физическое описание | 123 с. ил. | |
Тема | Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Технология производства -- Электронная обработка -- Оборудование -- Теория, исследования -- Моделирование | |
Тема | Физическая электроника | |
Хранение | 61 05-1/1133; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |