Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Райнова, Мария Юрьевна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 1997 | |
Физическое описание | 22 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | |
Хранение | 9 97-2/556-0; | |
Хранение | 9 97-2/557-9; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |