Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Залкинд, Яков Григорьевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Физико-механические свойства кремниевых наноструктур, как технологического материала микросистемной техники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 | |
Выходные данные | Москва 2005 | |
Физическое описание | 27 с. | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Материалы -- Материалы на основе силикатов -- Физико-механические свойства | |
Тема | Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Кремний и его соединения -- Кремний -- Свойства и качества | |
Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники | |
Ключевые слова |
нанопористый кремний наноструктурированный кремний |
|
Хранение | 9 05-11/3278-6; | |
Хранение | 9 05-11/3279-4; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |