Виртуальная клавиатура
Простой поиск
Закрыть
Поиск
Результаты
ЭБ РГБ
– Электронная библиотека диссертаций
[
info
]
Запись №1
Описание /
Карточка
/
Поля MARC
Действия
Автор
Абрикосов, Алексей Алексеевич
загрузить
в подборку
Заглавие
Электростатические методы исследования динамики ЭУФ-индуцированной плазмы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08
Выходные данные
Москва 2017
Физическое описание
17 с.
Тема
Физика плазмы
Тема
Физико-математические
науки
-- Физика -- Электричество
и
магнетизм -- Электронные
и
ионные явления. Физика плазмы -- Теория плазмы. Свойства плазмы -- Гидродинамика плазмы -- Методы исследования
Тема
Техника
.
Технические
науки
--
Энергетика
.
Радиоэлектроника
--
Радиоэлектроника
--
Общая
радиотехника
--
Радиоаппаратура
(
радиоэлектронная
аппаратура
) --
Микрорадиоэлектронная
аппаратура
.
Микроэлектроника
--
Интегральные
схемы
--
Технология
производства
--
Электрическая
,
электрохимическая
и
ультразвуковая
обработка
--
Оборудование
и
аппаратура
для
технического
контроля
Ключевые слова
литография в экстремальном ультрафиолете (ЭУФ-литография)
Хранение
9 18-1/226;
Электронный адрес
Электронный ресурс