Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Сдобняков, Виктор Владимирович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Радиационно-стимулированное формирование нитрида кремния в кремнии при последовательном облучении встречными пучками ионов азота и аргона : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 | |
Выходные данные | Нижний Новгород 2006 | |
Физическое описание | 18 с. | |
Тема | Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Кремний и его соединения -- Теоретические основы. Исследования | |
Тема | Физика полупроводников | |
Ключевые слова |
кремний на изоляторе полупроводниковые материалы КНИ-структуры |
|
Хранение | 9 06-8/2572-1; | |
Хранение | 9 06-8/2573-X; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |