Виртуальная клавиатура
Простой поиск
Закрыть
Поиск
Результаты
ЭБ РГБ
– Электронная библиотека диссертаций
[
info
]
Запись №20
<<
|
>>
Описание /
Карточка
/
Поля MARC
Действия
Автор
Воронов, Павел Евгеньевич
загрузить
в подборку
Заглавие
Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Выходные данные
Ставрополь 2009
Физическое описание
21 с.
Тема
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Тема
Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Окислы, кислоты, основания, соли -- Окислы
Тема
Приборостроение -- Технология приборостроения -- Технология производства приборов для определения компонентов газовых смесей -- Нанесение покрытий
Ключевые слова
газовые сенсоры
Ключевые слова
оксидные материалы
Ключевые слова
сенсорные материалы
Ключевые слова
газочувствительные оксидные пленки
Ключевые слова
тонкопленочные наноструктуры
Хранение
9 09-4/893;
Электронный адрес
Электронный ресурс
<<
|
>>